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Résultat numéro 1, sélectionner Procédés chimiques de dépôt à partir d'une phase gazeuse 1

Procédés chimiques de dépôt à partir d'une phase gazeuse

par Pauleau, Yves (1942-....)

Lavoisier ; Hermès science publications

2004 -

Disponible - 541.1 PAU

Niveau 2 - Sciences

Résumé : Présente trois parties : procédés CVD (Chemical Vapor Deposition) thermiquement activés, procédés CVD activés par plasma et procédés CVD activés par un faisceau de photons.